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微型压力传感器厂家浅析微型压力传感器的工作原理

微型压力传感器广泛应用于我们的工业领域。目前,许多公司更加注重微型压力传感器的使用。在选择使用微型压力传感器时,首先要选择模型和工作环境。重要的是微型压力传感器厂家
微型压力传感器厂家简单描述了微拉压力传感器的工作原理:

为解决微压力传感器灵敏度与非线性之间的矛盾,在结构方面,采用一体化梁膜结构和平膜双岛结构的优点,采用双岛梁结构。岛屿区域没有按比例放大或缩小。首先,为了增加灵敏度,窄光束区域的长度和宽度应该最小化。由于已经从梁 - 膜 - 岛结构的有限元分析和近似分析分析中发现,减小窄梁区域的长度和宽度可以显着增加梁上的应力。并且当中间窄光束的长度约为两侧窄光束长度的两倍时,器件的线性度最佳。尽管存在双岛限制结构,但在高过载的情况下,硅膜将首先从岛的边缘和角落区域破裂。这是因为传统的岛膜结构是通过传统的掩模各向异性湿法蚀刻形成的,以从硅晶片的背面形成硅膜和背岛。硅膜是晶面,框架和后岛的两侧都是晶面,锐角为54.74°。根据机械原理,在拐角区域存在应力集中效应,因此在硅膜被压在正面或背面之后,拐角区域将具有极大的应力值,因此裂缝首先从那里发生。在引入应力分散结构之后,拐角区域变为具有一定曲率的圆形区域,使得该区域中的应力的极值降低。在硅膜与框架或后岛的连接处,形成具有一定曲率半部的缓慢变化的结构,这是传统的常规各向异性湿法蚀刻所不能实现的。为此,采用掩模 - 无掩模各向异性湿法蚀刻技术。

微型压力传感器的工作原理风压传感器的压力直接作用于传感器的膜片,使膜片产生与介质压力成比例的微位移,导致传感器的阻力发生变化,用电子电路检测变化,转换输出与该压力对应的标准信号。


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来源:http://www.szxjc18.com/news/60.html

发布时间 : 2019-02-13